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減薄劃片挑粒
減薄劃片挑粒

量產工藝能力介紹(減薄+劃片+挑粒)

1】尺寸:12"、8"、6"、5",兼顧4"、3"及各種規格的單芯片、MPW芯片;

2】最小減薄厚度可至:12"=>80um;8"和6"=>100μm;5"、4"、3"=>100μm;

3】單芯片、MPW芯片減薄(要求芯片面積≥1.00mm×1.00mm);

劃片能力

1】劃片規格:12"~3"硅圓片、MPW圓片、MTK圓片、Shuttle、陶瓷和石英片;

2】劃片類型:Low-K、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、碳化硅、陶瓷、石英、Si;

3】劃片優勢:劃片槽寬度≤35μm,芯片/基板厚度:≤1.0mm,劃槽預留寬度:≥50μm;

4】具備:16、22、28、40、55、65、90nm等12寸Low-k圓片長期減薄劃片經驗。